3D表面輪廓測量原理

什么是白光干涉？

白光干涉儀是一種能夠以納米級(jí)精度對(duì)粗糙度和臺(tái)階等三維表面特征進(jìn)行非接觸式測量的技術(shù)。測量粗糙度和臺(tái)階的技術(shù)包括接觸式輪廓儀、原子力顯微鏡 (AFM) 和激光顯微鏡。

白光干涉儀可以說是一種能夠?qū)崿F(xiàn)高精度、高速測量和大范圍測量的系統(tǒng)。

白光干涉儀的測量原理

光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

干涉條紋

白光干涉法是用相機(jī)測量光的干涉圖案來測量三維形狀。如果您使用帶有內(nèi)置參考鏡（稱為干涉鏡）的物鏡，并用白光照射參考鏡和樣品，當(dāng)兩個(gè)反射光的光路相同時(shí)，兩個(gè)光發(fā)生強(qiáng)烈干涉并變亮. 反之，當(dāng)兩束反射光的光路不同時(shí)，兩束光相互抵消而變暗。

 

在測量不同高度的樣品時(shí)，根據(jù)光路的不同，在光線強(qiáng)弱的地方會(huì)出現(xiàn)干涉條紋。

通過使用壓電致動(dòng)器或步進(jìn)電機(jī)在樣品上上下移動(dòng)物鏡來觀察干涉信號(hào)。干擾信號(hào)峰值分別出現(xiàn)在 A 側(cè)和 B 側(cè)，這些峰值位置的偏移就是高度差。